기가포톤, 스펙트럼 폭 제어기술 ‘hMPL’ 개발

반도체 리소그래피 광원의 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)가 최신 광학 설계 제조기술(=Cutting Edge Solution)을 도입한 스펙트럼 폭 제어기술 ‘hMPL’을 개발했다고 발표했다. hMPL은 이미 칩 제조업체의 실기평가(pilot experiment)에서 높은 평가를 받았으며 향후 최첨단 반도체 제조 애플리케이션에 대응해 나갈 예정이다…
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