기가포톤, EUV 파일럿 광원으로 집광 미러 반사율 저하량 -0.4 % /Bpls 달성

반도체 리소그래피 광원 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)가 현재 개발중인 EUV 스캐너용 레이저 생성 플라즈마(LPP) 광원에 대해 최첨단 반도체 양산 라인에서의 가동을 상정한 파일럿 광원 주)으로 집광 미러 반사율 저하량 -0.4%/Bpls를 달성함으로써 큰 걸림돌을 해소했다고 발표했다. 기가포톤은 올 여름 자체 …
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